Sêwirana optîkî di warê nîvconductor de gelek serîlêdan hene. Di makîneyek fotolîtografî de, pergala optîkî berpirsiyar e ku tîra ronahiyê ya ku ji hêla çavkaniya ronahiyê ve hatî belav kirin balê bikişîne û wê li ser wafera siliconê derxe da ku şêwaza dorpêçê eşkere bike. Ji ber vê yekê, sêwirandin û xweşbînkirina hêmanên optîkî yên di pergala fotolîtografî de rêyek girîng e ku meriv performansa makîneya fotolîtografî baştir bike. Li jêr hin hêmanên optîkî yên ku di makîneyên fotolîtografî de têne bikar anîn hene:
Armanca projeyê
01 Armanca projeksiyonê di makîneyek lîtografiyê de hêmanek optîkî ya sereke ye, bi gelemperî ji rêzek lensên ku di nav wan de lensên konveks, lensên gêjbûyî, û prîzman pêk tê.
02 Fonksiyona wê ev e ku pîvana çerxa li ser maskê piçûk bike û wê li ser wafera ku bi fotoresîstê pêçandî ye balê bikişîne.
03 Rastbûn û performansa armanca pêşnûmeyê bandorek diyarker li ser çareserî û kalîteya wênesaziya makîneya lîtografî heye
Neynik
01 Mirrorsji bo guheztina rêça ronahiyê û rêvekirina wê berbi cîhê rast têne bikar anîn.
02 Di makîneyên lîtografî yên EUV de, neynik bi taybetî girîng in ji ber ku ronahiya EUV bi hêsanî ji hêla materyalan ve tê kişandin, ji ber vê yekê divê neynikên bi refleksa bilind werin bikar anîn.
03 Rastbûna rûkal û aramiya refleksorê jî bandorek mezin li ser performansa makîneya lîtografiyê dike.
Parzûn
Parzûnên 01 têne bikar anîn da ku dirêjahiya pêlên nedilxwaz ên ronahiyê jêbirin, rastbûn û kalîteya pêvajoya fotolîtografî baştir bikin.
02 Bi hilbijartina parzûna guncan, meriv dikare were piştrast kirin ku tenê ronahiya dirêjahiya pêlek taybetî têkeve makîneya lîtografiyê, bi vî rengî rastbûn û aramiya pêvajoya lîtografiyê baştir dike.
Prisms û pêkhateyên din
Wekî din, makîneya lîtografiyê dibe ku hêmanên optîkî yên alîkar ên din jî bikar bîne, wek prîzm, polarîzator, hwd., da ku daxwazên taybetî yên lîtografî bicîh bîne. Hilbijartin, sêwirandin û çêkirina van hêmanên optîkî pêdivî ye ku bi hişkî standard û daxwazên teknîkî yên têkildar bişopînin da ku rastbûn û karbidestiya bilind a makîneya lîtografiyê peyda bikin.
Bi kurtahî, sepana hêmanên optîkî di warê makîneyên lîtografî de armanc dike ku performans û karbidestiya hilberîna makîneyên lîtografî baştir bike, bi vî rengî piştgirî dide pêşkeftina pîşesaziya hilberîna mîkroelektronîkî. Bi pêşkeftina domdar a teknolojiya lîtografî re, xweşbînkirin û nûvekirina hêmanên optîkî jî dê ji bo çêkirina çîpên nifşê din potansiyelek mezin peyda bike.
Ji bo bêtir agahdarî û şîreta pispor, biçin malpera me li serhttps://www.jiujonoptics.com/li ser hilber û çareseriyên me bêtir fêr bibin.
Dema şandinê: Jan-02-2025
