Dizayna optîkî di warê nîvconductor de xwedî rêzek fireh ji sepanên wê ye. Di makîneya fotolîtografiyê de, pergala optîkî berpirsiyar e ji bo fokuskirina tîrêjên ronahiyê yên ku ji hêla çavkaniya ronahiyê ve têne derxistin û projeykirina wê li ser wafera silîkonê da ku şêweya devreyê eşkere bike. Ji ber vê yekê, sêwirandin û çêtirkirina pêkhateyên optîkî di pergala fotolîtografiyê de rêyek girîng e ji bo baştirkirina performansa makîneya fotolîtografiyê. Li jêr hin pêkhateyên optîkî yên ku di makîneyên fotolîtografiyê de têne bikar anîn hene:
Armanca projeksiyonê
01 Objektiva projeksiyonê pêkhateyeke optîkî ya sereke ye di makîneya lîtografiyê de, ku bi gelemperî ji rêze lensan pêk tê, di nav de lensên konveks, lensên konkav, û prîzma hene.
02 Karê wê ew e ku şêweya devreyê ya li ser maskeyê biçûk bike û wê li ser wafera ku bi fotoresîstê hatiye pêçandin, balê bikişîne.
03 Rastbûn û performansa objektîfa projeksiyonê bandorek diyarker li ser çareserî û kalîteya wênekirinê ya makîneya lîtografiyê dike.
Neynik
01 Neynikji bo guhertina rêça ronahîyê û arastekirina wê bo cihê rast têne bikaranîn.
02 Di makîneyên lîtografiya EUV de, neynik bi taybetî girîng in ji ber ku ronahiya EUV bi hêsanî ji hêla materyalan ve tê kişandin, ji ber vê yekê divê neynikên bi refleksîfek bilind werin bikar anîn.
03 Rastbûna rûber û aramiya reflektorê bandorek mezin li ser performansa makîneya lîtografiyê jî dike.
Fîlter
01 Fîlter ji bo rakirina dirêjahiya pêlên nexwestî yên ronahiyê têne bikar anîn, rastbûn û kalîteya pêvajoya fotolîtografiyê baştir dikin.
02 Bi hilbijartina fîltera guncaw, dikare were misoger kirin ku tenê ronahiya bi dirêjahiya pêlê ya diyarkirî dikeve makîneya lîtografiyê, bi vî rengî rastbûn û aramiya pêvajoya lîtografiyê baştir dibe.
Prism û pêkhateyên din
Herwiha, makîneya lîtografiyê dikare pêkhateyên din ên optîkî yên alîkar jî bikar bîne, wek prîzm, polarîzer û hwd., da ku hewcedariyên taybetî yên lîtografiyê bicîh bîne. Hilbijartin, sêwirandin û çêkirina van pêkhateyên optîkî divê bi hişkî standard û hewcedariyên teknîkî yên têkildar bişopîne da ku rastbûn û karîgeriya bilind a makîneya lîtografiyê misoger bike.
Bi kurtasî, sepandina pêkhateyên optîkî di warê makîneyên lîtografiyê de armanc dike ku performans û karîgeriya hilberînê ya makîneyên lîtografiyê baştir bike, bi vî rengî piştgirîya pêşkeftina pîşesaziya çêkirina mîkroelektronîkê dike. Bi pêşkeftina domdar a teknolojiya lîtografiyê re, çêtirkirin û nûjeniya pêkhateyên optîkî dê potansiyelek mezintir ji bo çêkirina çîpên nifşê pêşerojê jî peyda bike.
Ji bo bêtir agahdarî û şîretên pisporan, serdana malpera me bikin lihttps://www.jiujonoptics.com/da ku hûn di derbarê hilber û çareseriyên me de bêtir fêr bibin.
Dema şandinê: Çile-02-2025
