Sêwirana optîkî di qada nîvrojê de serîlêdanên berbiçav heye. Di makîneyek fotolojîgholojî de, pergala optîkî berpirsiyar e ku meriv li ser rûyê ronahiyê ku ji hêla çavkaniya ronahiyê ve hatî derxistin û proje li ser wafer silicon tê derxistin da ku modela qefesê eşkere bike. Ji ber vê yekê, sêwirandin û xweşbîniya pêkhateyên optîkî di pergala fotolojîgholojî de rêyek girîng e ku performansa makîneya fotolojîbûnê baştir bike. Ya jêrîn çend hêmanên optîkî yên ku di makîneyên fotolojî de têne bikar anîn hene:
Armanca projection
01 Armanca projeksiyonê di makîneya lithografî de pêkhatek girîng a optîkî ye, bi gelemperî ji rêzek lensan pêk tê tevî lensên konvex, lensên konvex, lensên konkeş, û prism.
02 Fonksiyona wê ev e ku meriv li ser maskeyê şêwaza qamyonê hûr bibe û balê bikişîne ser wafer ku bi fotoresist re hatî çêkirin.
03 Rastî û performansa armanca projeksiyonê bandorek diyarker li ser çareseriyê û kalîteya wêneya makîneya lîtografiyê heye
Neynik
01 Mirîşkantêne bikar anîn da ku rêça ronahiyê biguhezînin û wê li cîhê rast rast bikin.
02 Li euv lithografy MACTOON, MIRROR bi taybetî girîng in ji ber ku euv ronahî bi hêsanî ji hêla materyalan ve tê qewirandin, ji ber vê yekê neynikên bi refleksa bilind divê were bikar anîn.
03 Rastiya rûyê û aramiya refleksê jî bandorek mezin li ser performansa makîneya lîtografiyê heye.
Filter
01 filter ji bo rakirina pêlên pêlên nexwazî yên ronahiyê têne bikar anîn, başkirina rastbûn û kalîteya pêvajoya fotolojîbûnê.
02 Bi hilbijartina filterê ya guncan, ew dikare bi tenê ronahiya wiya ya taybetî têxe nav makîneya lîtografiyê, bi vî rengî rastbûn û aramiya pêvajoya lîtografiyê baştir bike.
Prisms û pêkhateyên din
Wekî din, makîneya lîtografî jî dibe ku hêmanên optîkî yên din ên arîkar, wek prisms, polarizer, hwd, bi kar bînin, da ku hewcedariyên lîtografiya taybetî bicîh bînin. Hilbijartin, sêwirandin û çêkirina van pêkhateyên optîkî divê bi tundî li gorî pîvanên teknîkî yên têkildar bişopînin da ku rast û karbidestiya bilind a makîneya lîtografiyê piştrast bikin.
Bi kurtahî, pêkanîna pêkhateyên optîkî di warê makîneyên lîtografî de ji bo baştirkirina performans û hilberîna makîneyên lithografî, bi vî rengî piştgiriyê dide pêşkeftina pîşesaziya hilberîna mîkroelectronics. Bi pêşkeftina domdar a teknolojiya lithografî, xweşbînbûn û nûvekirina pêkhatên optîkî dê ji bo çêkirina çîpên nifşê din jî potansiyela mezintir peyda bike.
Ji bo bêtir çavnebar û şîreta pispor, li ser malpera me serdana lihttps://www.jiujonoptics.com/Ji bo bêtir li ser hilber û çareseriyên me fêr bibin.
Demjimêra paşîn: Jan-02-2025